在經歷0403花蓮強震之后，半導體龍頭臺積電發出聲明指出，其關鍵極紫外曝光設備 (EUV) 「安全無虞」，而且在4月3日大地震的10小時之后，已經將產能恢復到了70%-80%。然而，地震及其余震并沒有讓生產設施受損。
根據市場消息，地震中斷和造成的損失將使臺積電損失約 6,200 萬美元（約人民幣4.5億元）。其中，雖然 EUV 機器沒有損壞，但工廠的橫梁、柱子、墻壁和管道在地震中遭到損壞。但對此，臺積電方面并沒有確認。
消息指出，花蓮強震之后，臺積電在 4 月 5 日發出的最新聲明指出，除了位于震幅較大地區的部分生產線，需要較長的時間調整校正以回復自動化生產外，感謝公司同仁及供應商伙伴的共同努力，臺灣晶圓廠內的設備已大致復原。
臺積電還表示，全年業績展望以美元計仍將維持一月法說會展望，全年營收預計成長低至中段二十位數 （low-to-mid twenties） 百分比。對此，熟悉該公司營運的市場人士表示，臺積電位于臺南量產 N3 制程的晶圓廠和位于新竹的另一家晶圓廠，在地震當下受到了相關的損害。
在臺南量產 N3 制程的晶圓廠的部分出現橫梁斷裂，色譜管損壞、研發實驗室墻壁破裂的情況，而新竹晶圓廠的部分，則是有晶圓受損、管道破裂的情況。但盡管如此，最重要的機器，包括 EUV 設備等并沒有傳出損壞的消息。
事實上，建造現代半導體工廠時采取的預防措施似乎已基本發揮作用。臺積電和其他在 1999 年遭受地震嚴重影響的產業都已經采用了抗震管理措施。因此，相關的半導體生產建筑物都是為了抵御臺灣地區常見的地震而建造的。此外，最昂貴和最敏感的機械則是以特殊的方式安裝，目的在進一步使其免受沖擊、顛簸和振動的影響。包括美光在臺中的存儲器工廠，琪就是采取了相類似針對機器的額外預防措施。
雖然先進的現代晶圓廠可能承受住了地震，且受到的嚴重損害相對較小。但重要的是，有許多支援業務和營運可能面臨更嚴重的破壞。因為晶圓廠還是需要持續可靠的電力以及精煉空氣、水和化學品來保持平穩生產運作。目前，在臺積電產能已經大致輝服的情況之下，這部分的供應與支援，當前應該也維持正常當中。
